まとめ
物理的手法/加圧処理
TNW
同士の接触
化学的手法/
TiCl
4
処理
TNW
間の架橋による導電パスの形成
→
粒界での抵抗低減
→
界面移動時の電荷損失の減少
TNW
電極膜の接触改善